ESD的故障安全是指 ESD自身发生故障时 , 会影响到被控过程的安全运行。-查字典考试网

ESD的故障安全是指 ESD自身发生故障时 , 会影响到被控过程的安全运行。

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故障安全指：ESD系统在故障时使得生产装置按已知预定方式进入安全状态。

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